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标题
Numerical study on the effect of electric field distribution on plasma discharge in ferromagnetic-enhanced inductively coupled plasma
网址
http://dx.doi.org/10.1109/icops58192.2024.10627735
DOI
10.1109/icops58192.2024.10627735 doi
其它 期刊：2024 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)
作者：Q. Lou; Z. Wang; S. Yang; Z. Xie; Y. Gong
出版日期：2024-06-16
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Plasma992575 在 2026-08-06 13:14:23 发布自山东，悬赏 10 积分
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