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标题
Mitigating pattern collapse in high-resolution extreme ultraviolet lithography using the organic dry development rinse process
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.23.3.034603
DOI
10.1117/1.jmm.23.3.034603 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者：Seonggil Heo; Seungjoo Baek; Mihir Gupta; Hyo Seon Suh; Kodai Kato; et al
出版日期：2024-09-09
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liu6666666666 在 2026-09-17 14:41:42 发布自北京，悬赏 20 积分
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