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标题
[高分] A High-Performance Aluminum Nitride Piezoelectric MEMS Hydrophone With Island Piezo-Patterned Structure
网址
DOI
10.1109/jmems.2026.3698425 doi
其它 期刊:Journal of Microelectromechanical Systems
作者:Wenhao Li; Zhao Li; Yunchao Qi; Weiwei Cui; Hao Zhang
出版日期:2026-06-23
求助人
321 在 2026-07-30 21:50:49 发布自山东,悬赏 50 积分
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