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 Analytical approach to metal oxide resist modeling: exposure, bake, and network formation 金属氧化物抗蚀剂建模的分析方法：曝光、烘烤和网络形成
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期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Eric C. Hansen; Yichi Zhang; Ji Yeon Kim; William D. Hinsberg 出版日期：2022-08-17 |
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