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Angstrom surface with high material removal rate for quartz glass induced by silk dissolved novel green chemical mechanical polishing 相关领域
泥浆
化学机械平面化
材料科学
抛光
表面粗糙度
化学工程
吸附
石英
溶解
复合材料
表面改性
表面光洁度
纳米技术
化学
有机化学
工程类
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(2025-6-4)