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标题
Fabrication of Ordered Macropore Arrays in n-Type Silicon Wafer by Anodic Etching Using Double-Tank Electrochemical Cell
双槽电化学电池阳极刻蚀制备n型硅片有序大孔阵列
相关领域
薄脆饼 硅 材料科学 蚀刻（微加工） 制作 光电子学 大孔隙 反应离子刻蚀 阳极 机车 纳米技术 单晶硅 电极 化学 图层（电子） 医学 介孔材料 替代医学 病理 物理化学 催化作用 生物化学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/15/5/569/pdf?version=17141242...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi15050569 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Jing Zhang; Faqiang Zhang; Mingsheng Ma; Zhifu Liu
出版日期：2024-04-26
求助人
小Q 在 2025-08-28 22:39:07 发布，悬赏 10 积分
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