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 Novel process integration flow of germanium-on-silicon FinFETs for low-power technologies 用于低功耗技术的硅基锗FinFET的新型工艺流程集成
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Sumit Choudhary; Midathala Yogesh; Daniel Schwarz; Hannes S. Funk; Subrata Ghosh; et al 出版日期：2023-08-21 |
| 求助人 |
小笨猪
在
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