| 标题 |
  Nanometer Order Separation Control of Large Working Area Nanogap Created by Cleavage of Single-Crystal Silicon Along {111} Planes Using a MEMS Device 利用MEMS器件对单晶硅沿{111}面解理产生的大工作区纳米间隙的纳米级分离控制
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微电子机械系统
硅
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| 其它 |
期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Masaki Shimofuri; Amit Banerjee; Jun Hirotani; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya 出版日期：2022-11-03 |
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唠叨的灯泡
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