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 Investigation of Various GeF4 Gas Mixtures for Improvement of Germanium Ion Implantation 不同GeF4气体混合物改善锗离子注入的研究
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计算机科学
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期刊： 作者：Ying Tang; Sharad Yedave; Oleg Byl; Chee-Weng Leong; Eric Tien; et al 出版日期：2018-09-01 |
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