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 Atomic layer deposition 原子层沉积
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| DOI |
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10.1016/b978-0-12-812311-9.00011-6
Doi
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| 其它 | Kessels, E., Devi, A., Park, JS. et al. Atomic layer deposition. Nat Rev Methods Primers 5, 66 (2025). https://doi.org/10.1038/s43586-025-00435-6 |
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