Effect of working pressure on Sn/In composition and optoelectronic properties of ITO films prepared by high power impulse magnetron sputtering - 科研通

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标题	Effect of working pressure on Sn/In composition and optoelectronic properties of ITO films prepared by high power impulse magnetron sputtering 工作压力对高功率脉冲磁控溅射ITO薄膜Sn/In组成及光电性能的影响相关领域高功率脉冲磁控溅射材料科学溅射沉积溅射氧化铟锡腔磁控管电阻率和电导率光电子学氧化剂分析化学（期刊）带隙托尔薄膜化学纳米技术热力学电气工程物理色谱法工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110762
DOI	10.1016/j.vacuum.2021.110762 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Ming-Jie Zhao; Jin-Fa Zhang; Qi-Hui Huang; Wan-Yu Wu; Ming-Chun Tseng; et al 出版日期：2021-11-22
求助人	阿槑jing 在 2025-09-04 16:57:44 发布自广东，悬赏 10 积分
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