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[求助补充材料]
 The effect of hole density variation in the PECVD reactor showerhead on the deposition of amorphous carbon layer 相关领域
沉积（地质）
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期刊：Vacuum 作者：Guensuk Lee; Dong Kee Sohn; Seung Hyun Seok; Han Seo Ko 出版日期：2019-02-06 |
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