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标题
[求助补充材料] The effect of hole density variation in the PECVD reactor showerhead on the deposition of amorphous carbon layer
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网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.02.009
DOI
10.1016/j.vacuum.2019.02.009 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Guensuk Lee; Dong Kee Sohn; Seung Hyun Seok; Han Seo Ko
出版日期：2019-02-06
求助人
PhysicsXX 在 2025-09-28 17:11:59 发布自中国，悬赏 20 积分
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