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Design, modeling, and test of a normal-stressed electromagnetic actuated compliant nano-positioning stage 正应力电磁驱动柔性纳米定位台的设计、建模和测试
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期刊:Mechanical Systems and Signal Processing 作者:Xiangyuan Wang; Yixuan Meng; Weiwei Huang; Linlin Li; Zhiwei Zhu; et al 出版日期:2022-09-15 |
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