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 Effect of Heat Treatment on Structural Characteristics and Electric Resistance in TaNxThin Film Deposited by RF Sputtering 热处理对射频溅射沉积TanX薄膜结构特性和电阻的影响
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Dong Yoon Lee; In Sung Kim; Jae Sung Song 出版日期：2002-07-15 |
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