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Synthesis of MOS2 Phase in the Near Surface Region of Al2O3 and ZrO2 by Ion Implantation
离子注入法合成Al2O3和ZrO2近表面MOS2相
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期刊:MRS proceedings/Materials Research Society symposia proceedings 作者:Abhishek Rai; R. S. Bhattacharya; S.C. Rung; D. Patrizio 出版日期:1989-01-01 |
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