Preparation of Irregular Silica Nanoparticles by the Polymer Templating for Chemical Mechanical Polishing of Sapphire Substrates

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标题	Preparation of Irregular Silica Nanoparticles by the Polymer Templating for Chemical Mechanical Polishing of Sapphire Substrates 相关领域化学机械平面化材料科学纳米颗粒蓝宝石聚合物 X射线光电子能谱化学工程抛光表面粗糙度纳米技术复合材料光学物理工程类激光器
网址	https://doi.org/10.1007/s11664-019-07248-w
DOI	10.1007/s11664-019-07248-w doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Yue Dong; Hong Lei; Yi Chen; Wenqing Liu; Lei Xu; et al 出版日期：2019-05-03
求助人	佳足在 2026-01-11 21:47:52 发布自天津，悬赏 10 积分
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