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Cu–Cu hybrid bonding technology: from physical mechanisms to system integration for 3D ICs Cu-Cu混合键合技术:从物理机制到3D IC的系统集成
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期刊:Moore and More 作者:Bing Jiang; Yutong Wu; Zhixiang Zhong; Kangkai Fan; Qiubao Lin; et al 出版日期:2025-12-15 |
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