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 Design, modeling, and control of a long stroke compliant tip-tilt-piston micropositioning stage driven by voice coil motors 相关领域
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Peixing Li; Yunzhuang Chen; Chao Xie; Zhihao Xu; Leijie Lai; et al 出版日期：2024-07-01 |
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