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Design, modeling, and control of a long stroke compliant tip-tilt-piston micropositioning stage driven by voice coil motors
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0203529
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0203529 doi
其它 期刊：Review of Scientific Instruments
作者：Peixing Li; Yunzhuang Chen; Chao Xie; Zhihao Xu; Leijie Lai; et al
出版日期：2024-07-01
求助人
何以解忧 在 2026-01-24 19:00:14 发布自美国，悬赏 10 积分
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