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Non-selective copper film growth on Kapton (polyimide) by MOCVD 相关领域
聚酰亚胺
金属有机气相外延
材料科学
化学气相沉积
Kapton
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薄膜
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铜
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期刊:Thin Solid Films 作者:H. A. Marzouk; J.Y. Kim; J.S. Kim; P. J. Reucroft; Robert J. K. Jacob; et al 出版日期:1994-09-01 |
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