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标题
Effect of Multilayer versus Monolayer Dodecanethiol on Selectivity and Pattern Integrity in Area Selective Atomic Layer Deposition
网址
https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsami.0c08873
DOI
10.1021/acsami.0c08873 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials and Interfaces
作者：Tzu‐Ling Liu; K. Nardi; Nerissa Draeger; D. Hausmann; S. Bent
出版日期：2020-08-07
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2d3y 在 2026-09-15 14:33:21 发布自中国，悬赏 10 积分
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