First EUV-Enabled Integration Route for 50 nm Pitch N and PMOS Transistors with 2D Materials Channel from a 300 mm Fab

已完结

文献求助详情

标题	First EUV-Enabled Integration Route for 50 nm Pitch N and PMOS Transistors with 2D Materials Channel from a 300 mm Fab
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11577192/11577120/115772...
DOI	10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.11577295 doi
其它	期刊：2026 IEEE/JSAP Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits) 作者：T. Schram; Q. Smets; G. Arutchelvan; C.-H. Yao; S. Chou; et al 出版日期：2026-06-14
求助人	整齐夏彤在 2026-08-10 16:37:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: helloWorld发布了新的文献求助10

3秒前; claudio12完成签到，获得积分10

7秒前; 科目三的应助被111采纳，获得10

8秒前; jiyechenxi完成签到，获得积分10

8秒前; 顾矜的应助被alangq采纳，获得10

9秒前; 热爱科研的小孩完成签到，获得积分10

9秒前; v0id上传了应助文件

9秒前; 领导范儿的应助被内向晓旋采纳，获得10

10秒前; helloWorld完成签到，获得积分10

12秒前; 研友_VZG7GZ的应助被任性乞采纳，获得30

13秒前; 打打上传了应助文件

19秒前; 慕青上传了应助文件

24秒前; circle完成签到，获得积分10

25秒前; 小杨发布了新的文献求助10

25秒前; circle发布了新的文献求助10

27秒前; MchemG的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; 赘婿的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; 英姑的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; LuciusLLLX的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; 不安的如天发布了新的文献求助10

35秒前; 斯文败类的应助被奈何采纳，获得10

38秒前; Lynette完成签到，获得积分10

38秒前; 海棠听风发布了新的文献求助10

38秒前; Owen的应助被circle采纳，获得10

39秒前; 耍酷笑白完成签到，获得积分20

43秒前; 小马甲上传了应助文件

59秒前; 海棠听风完成签到，获得积分10

1分钟前; v0id上传了应助文件

1分钟前; 斯文败类上传了应助文件

1分钟前; 野烟发布了新的文献求助10

1分钟前; 深情安青的应助被alangq采纳，获得30

1分钟前; 小杨完成签到，获得积分10

1分钟前; 奈何发布了新的文献求助10

1分钟前; 野烟完成签到，获得积分10

1分钟前; allrubbish完成签到，获得积分10

1分钟前; 安详的小凝完成签到，获得积分10

1分钟前; sleet完成签到，获得积分10

1分钟前; KY2022完成签到，获得积分10

1分钟前; 天天快乐的应助被alangq采纳，获得30

1分钟前