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标题
Compact fiber-coupled three degree-of-freedom displacement interferometry for nanopositioning stage calibration
网址
http://stacks.iop.org/0957-0233/25/i=7/a=075205/pdf
DOI
10.1088/0957-0233/25/7/075205 doi
其它 期刊：Measurement Science and Technology
作者：S R Gillmer; R C G Smith; S C Woody; J D Ellis
出版日期：2014-06-17
求助人
kelaibing 在 2026-09-06 16:38:48 发布自广东，悬赏 10 积分
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  • 11小时前

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    16:38:52 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    16:38:49 科研通AI机器人（日本 东京）收到请求，开始寻找文献
    16:38:49 已向机器人发送请求

  • 11小时前

    kelaibing kelaibing Lv6 求助人 发起了本次求助

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