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标题
Highly reflective Mo/Be/Si multilayer mirrors with zero stress values for 13.5 nm wavelength
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060902...
DOI
10.1016/j.tsf.2023.140044 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：R. M. Smertin; N. Chkhalo; V. N. Polkovnikov; N. Salashchenko; R. A. Shaposhnikov; et al
出版日期：2023-10-01
求助人
mcm 在 2026-09-21 13:16:54 发布自浙江，悬赏 10 积分
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  • 1天前

    七颗茶香豆 七颗茶香豆 Lv710 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    13:17:01 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    13:16:57 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    13:16:55 已向机器人发送请求

  • 1天前

    mcm mcm Lv4 求助人 发起了本次求助

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