ZnO on Si integrated acoustic sensor

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标题	ZnO on Si integrated acoustic sensor
网址	https://doi.org/10.1016/0250-6874(83)85044-6
DOI	10.1016/0250-6874(83)85044-6 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators 作者：Michel Royer; J. Holmen; M. A. Wurm; O.S. Aadland; M. Glenn 出版日期：1983-01-01
求助人	美好的访冬在 2026-07-06 16:36:39 发布自北京，悬赏 10 积分
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