Progress in development of CNT EUV pellicles for mass production

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标题	[高分] Progress in development of CNT EUV pellicles for mass production
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3090545 doi
其它	期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXIX 作者：Yoji Wakayama; J. Kawahara; J. Santillan; K. Horigome; Isao Ichikawa; et al 出版日期：2026-04-10
求助人	阿巴阿巴在 2026-07-19 15:47:25 发布自陕西，悬赏 50 积分
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