Numerical modeling of carrier gas flow in atomic layer deposition vacuum reactor: A comparative study of lattice Boltzmann models - 科研通

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标题	Numerical modeling of carrier gas flow in atomic layer deposition vacuum reactor: A comparative study of lattice Boltzmann models
网址	https://doi.org/10.1116/1.4833561
DOI	10.1116/1.4833561 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Dongqing Pan; Tao Li; Tien Chien Jen; Chris Yuan 出版日期：2014
求助人	辛勤世倌在 2026-06-08 11:18:44 发布自福建，悬赏 10 积分
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