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 Assessing environmental impacts of nanoscale semi-conductor manufacturing from the life cycle assessment perspective 相关领域
生命周期评估
半导体工业
持续性
资源（消歧）
环境影响评价
资源效率
碳足迹
半导体器件制造
生产（经济）
业务
纳米技术
工程类
材料科学
薄脆饼
计算机科学
制造工程
温室气体
经济
生态学
宏观经济学
生物
计算机网络
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(2025-6-4)
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