Lithium Phosphorus Oxynitride Thin Film Fabricated by a Nitrogen Plasma-Assisted Deposition of E-beam Reaction Evaporation

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标题	Lithium Phosphorus Oxynitride Thin Film Fabricated by a Nitrogen Plasma-Assisted Deposition of E-beam Reaction Evaporation
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/1.1778934
DOI	10.1149/1.1778934 doi
其它	期刊：Electrochemical and Solid-State Letters 作者：Wen-Yuan Liu; Zheng-Wen Fu; Chi-Lin Li; Qi-Zong Qin 出版日期：2004-08-21
求助人	个性日记本在 2026-05-31 16:33:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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