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 Beam-assisted-etching technique for fabrication of single crystal diamond field emitter tip 单晶金刚石场发射尖端的束辅助刻蚀技术
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：J. Taniguchi; J. Yokoyama; M. Komuro; H. Hiroshima; I. Miyamoto 出版日期：2002-07-25 |
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