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标题
In situ isotope study of indium diffusion in InP/Al2O3 stacks
铟在InP/Al2O3叠层中扩散的原位同位素研究
相关领域
铟 钝化 扩散 堆栈（抽象数据类型） 电介质 半导体 材料科学 光电子学 磷化铟 图层（电子） 分析化学（期刊） 化学物理 化学 纳米技术 砷化镓 物理 热力学 色谱法 程序设计语言 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0069679
DOI
10.1063/5.0069679 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Ze Feng; Xiaoye Qin; Xiaohong Chen; Zhi‐Yun Li; Rong Huang; et al
出版日期：2022-01-17
求助人
lilijiang 在 2025-08-05 01:13:26 发布，悬赏 10 积分
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