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 Influence of growth temperature and scandium concentration on piezoelectric response of scandium aluminum nitride alloy thin films 生长温度和钪浓度对氮化钪铝合金薄膜压电响应的影响
相关领域
钪
材料科学
压电
氮化物
合金
薄膜
铝
晶粒生长
粒度
冶金
复合材料
纳米技术
图层（电子）
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Morito Akiyama; Kazuhiko Kano; Akihiko Teshigahara 出版日期：2009-10-19 |
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