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标题
Precise and practical 3D topography simulation of high aspect ratio contact hole etch by using model optimization algorithm
基于模型优化算法的高纵横比接触孔刻蚀三维形貌模拟
相关领域
过程（计算） 失真（音乐） 蒙特卡罗方法 纵横比（航空） 计算机科学 算法 模拟 材料科学 数学 计算机网络 放大器 统计 带宽（计算） 复合材料 操作系统
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003515
DOI
10.1116/6.0003515 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Tetsuya Nishizuka; Ryo Igosawa; T. Yokoyama; Kaoru Sako; Hironori Moki; et al
出版日期：2024-06-10
求助人
zjufqx 在 2025-07-15 19:57:39 发布自美国，悬赏 10 积分
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