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标题
An artificial intelligence transformation model – pod redesign of photomasks in semiconductor manufacturing
一种人工智能转型模型——半导体制造中光掩模的pod再设计
相关领域
转化（遗传学） 半导体器件制造 计算机科学 过程（计算） 光掩模 十字线 制造工程 分析 工业工程 系统工程 工程制图 数据挖掘 工程类 操作系统 图层（电子） 薄脆饼 有机化学 化学 电气工程 基因 生物化学 抵抗
网址
https://doi.org/10.1080/21681015.2023.2279101
DOI
10.1080/21681015.2023.2279101 doi
其它 期刊：Journal of Industrial and Production Engineering
作者：Shu‐Kai S. Fan; Ming-Shen Chen; Chia‐Yu Hsu; You‐Jin Park
出版日期：2023-11-08
求助人
魔幻沛菡 在 2025-07-24 21:22:08 发布自北京，悬赏 30 积分
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  • 1天前

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