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Pattern transfer distortions in optical photomasks
作者
Andrew R. Mikkelson,
Roxann L. Engelstad,
Edward G. Lovell
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2001-09-01
卷期号：57-58: 489-495
被引量：4
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(01)00471-3
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