| 标题 | 
                                                                                                                                                                     Impact of precursor exposure on process efficiency and film properties in spatial atomic layer deposition                                                    相关领域 
                                                            
                                                                                                                                    
                                                                        
                                                                            原子层沉积                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            基质(水族馆)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            多物理                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            沉积(地质)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            材料科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            纳米技术                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            薄膜                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            化学工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            热力学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            海洋学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            物理                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            地质学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            工程类                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            有限元法                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            古生物学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            生物                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            沉积物                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                 
                                                         | 
                                            
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 | 
                                                        期刊:Chemical Engineering Journal 作者:Việt Hương Nguyễn; Abderrahime Sekkat; Carmen Jiménez; D. Muñoz; Daniel Bellet; et al 出版日期:2020-07-16  | 
                                                
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 | 
| 
                                                         温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看  
                                                        科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。 
                                                     |