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标题
A transmissive spectral purity filter for suppressing infrared radiation in extreme ultraviolet lithography source
用于抑制极紫外光刻光源中红外辐射的透射光谱纯度滤光片
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 透射率 材料科学 光学 平版印刷术 红外线的 光电子学 紫外线 辐射 波长 激光器 物理
网址
https://doi.org/10.1109/iwaps60466.2023.10366173
DOI
10.1109/iwaps60466.2023.10366173 doi
其它 期刊：
作者：Haoxin Leng; Changqing Xie
出版日期：2023-10-26
求助人
ljj 在 2025-05-01 21:46:42 发布自山东，悬赏 10 积分
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