Model-free measurement of lateral recess in gate-all-around transistors with micro hard-X-ray fluorescence

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标题	Model-free measurement of lateral recess in gate-all-around transistors with micro hard-X-ray fluorescence
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.22.3.034001
DOI	10.1117/1.jmm.22.3.034001 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Janusz Bogdanowicz; Yusuke Oniki; Karine Kenis; Pallavi Puttarame Gowda; Hans Mertens; et al 出版日期：2023-08-02
求助人	adcffgg 在 2026-09-24 16:26:56 发布自上海，悬赏 20 积分
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