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标题
Vapor phase infiltration of aluminum oxide into benzocyclobutene-based polymer dielectrics to increase adhesion strength to thin film metal interconnects
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.5141475
DOI
10.1116/1.5141475 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Shreya Dwarakanath; Pulugurtha Markondeya Raj; Neha Kondekar; Mark D. Losego; Rao Tummala
出版日期：2020-04-15
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单纯易真 在 2026-10-20 23:13:04 发布自北京，悬赏 10 积分
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