Chemical mechanical planarization of nanotwinned copper/polyimide for low temperature hybrid bonding

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标题	Chemical mechanical planarization of nanotwinned copper/polyimide for low temperature hybrid bonding
网址	https://doi.org/10.1016/j.jelechem.2024.118544
DOI	10.1016/j.jelechem.2024.118544 doi
其它	期刊：Journal of Electroanalytical Chemistry 作者：Pin-Syuan He; Chun-Wei Tu; Kai-Cheng Shie; Chien-Yu Liu; Hsin-Yu Tsai; et al 出版日期：2024-07-30
求助人	王老大在 2026-10-26 16:16:30 发布自江苏，悬赏 10 积分
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