Research on modulation aberration numerical correction method of interference signals for high aspect ratio samples utilizing coherence scanning interferometry

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标题	Research on modulation aberration numerical correction method of interference signals for high aspect ratio samples utilizing coherence scanning interferometry
网址	http://dx.doi.org/10.1364/oe.547819
DOI	10.1364/oe.547819 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：qiao wenyou; Zhishan Gao; Dan Zhu; Lu Chen; Zhenyan Guo; et al 出版日期：2024-12-18
求助人	果冻在 2026-11-02 20:36:07 发布自江苏，悬赏 10 积分
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