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水基去胶方案

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cl
cl 1 来自江苏， 发表于：2026-08-13 08:34:40

核心诉求：寻找水基去胶方案
“目前我们在开发一种耐制绒掩膜材料，配方中使用了乙基纤维素（EC）以提供耐碱性能。该膜层在制绒工艺中表现稳定，但在后续去除工序中遇到了瓶颈：EC 仅能溶于有机体系，无法在水基体系中溶解。请问是否有成熟的水基体系或改性方案，能够在保证掩膜耐碱性的前提下，实现膜层的水基溶解去除？”传统光刻胶去胶方案尝试后没有效果。

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