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Scaling effects on electromigration reliability of copper interconnects

电迁移 缩放比例 可靠性（半导体） 材料科学 铜 上游和下游（DNA） 铜互连 上游（联网） 计算机科学 物理 冶金 复合材料 热力学 数学 功率（物理） 几何学 计算机网络
作者
L. Zhang,Jung Woo Pyun,Xiaoyu Lu,Paul S. Ho
出处
期刊：Elsevier eBooks [Elsevier]
日期：2011-01-01 卷期号：: 190-210 被引量：3
标识
DOI：10.1533/9780857093752.2.190
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