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Experimental study of chemical mechanical polishing of polycrystalline diamond based on photo-Fenton reaction

材料科学抛光聚晶金刚石钻石微晶化学机械平面化化学反应冶金化学工程复合材料有机化学化学工程类

作者

Ziyuan Luo,Jiabin Lu,Qiusheng Yan,Weiming Cai,Weilin Huang

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2024-11-04 卷期号：186: 109072-109072 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2024.109072

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