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Low MOCVD growth temperature controlled phase transition of Ga2O3 films for ultraviolet sensing

金属有机气相外延 紫外线 材料科学 相变 相（物质） 光电子学 分析化学（期刊） 化学 纳米技术 外延 凝聚态物理 环境化学 物理 有机化学 图层（电子）
作者
Jianying Yue,Xueqiang Ji,Xiaohui Qi,Shan Li,Zuyong Yan,Zeng Liu,Peigang Li,Zhenping Wu,Yufeng Guo,Weihua Tang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2022-06-17 卷期号：203: 111270-111270 被引量：26
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111270
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