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Design and Analysis of Pressure Sensor Based on MEMS Cantilever Structure and Pocket Doped DG-TFET

悬臂梁 微电子机械系统 兴奋剂 压力传感器 材料科学 光电子学 纳米技术 工程类 复合材料 机械工程
作者
K. Rajasekhar,Ashish Raman,Naveen Kumar,Sarabdeep Singh,Deepti Kakkar
出处
期刊:Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics [American Scientific Publishers]
卷期号:13 (9): 1295-1304 被引量:5
标识
DOI:10.1166/jno.2018.2309
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