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Interfacial optimization and enhancement of electrical properties of Ti-doped ZrO2 gate dielectric films prepared by the sol-gel method

兴奋剂 材料科学 电介质 溶胶凝胶 化学工程 光电子学 纳米技术 工程类
作者
Chaozhong Guo,Kamale Tuokedaerhan,Zhenhua Huang,Zhengang Cai,Margulan Ibraimov,Serikbek Sailanbek
出处
期刊：Solid State Communications [Elsevier BV]
日期：2025-02-01 卷期号：398: 115860-115860 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.ssc.2025.115860
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