高功率脉冲磁控溅射
腐蚀
材料科学
腔磁控管
溅射沉积
冶金
纳米技术
溅射
薄膜
作者
J.C. Sánchez-López,V. Godinho,Carmen López‐Santos,Paula Navarro,Marleny Rodríguez-Albelo,Miriam Sánchez-Pérez,E. Jiménez‐Piqué,Yadir Torres
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161366
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