Monolithic three-dimensional integration of complementary two-dimensional field-effect transistors

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作者
Rahul Pendurthi,Najam U Sakib,Muhtasim Ul Karim Sadaf,Zhiyu Zhang,Yongwen Sun,Chen Chen,Darsith Jayachandran,Aaryan Oberoi,Subir Ghosh,Shalini Kumari,Sergei P. Stepanoff,Divya Somvanshi,Yang Yang,Joan M. Redwing,Douglas E. Wolfe,Saptarshi Das
出处
期刊:Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
卷期号:19 (7): 970-977 被引量:121
标识
DOI:10.1038/s41565-024-01705-2
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