极紫外光刻
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光刻
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光电子学
无定形固体
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化学
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作者
Yeo Kyung Kang,Heeju Kim,Sun Jin Lee,Dongseok Oh,Yang-Hun Yoon,C.M. Kim,Geun Young Yeom,Chan-Cuk Hwang,Myung‐Gil Kim
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.159564
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