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Comparative X-ray Diffractometry of the Defect Structure of ZnO Epitaxial Films Deposited by Magnetron Sputtering on C-Plane Al2O3 Substrates in Inhomogeneous Electric Field

外延 蓝宝石 材料科学 溅射沉积 电场 腔磁控管 巴（单位） 结晶学 溅射 薄膜 凝聚态物理 光电子学 光学 化学 纳米技术 图层（电子） 物理 气象学 量子力学 激光器
作者
Yu. A. Volkovsky,V. A. Zhernova,M. S. Folomeshkin,П. А. Просеков,А. Э. Муслимов,А. В. Буташин,А. М. Исмаилов,Yu. V. Grigoriev,Yu. V. Pisarevsky,V. М. Kanevsky
出处
期刊：Crystallography Reports [Pleiades Publishing]
日期：2023-04-01 卷期号：68 (2): 195-202 被引量：2
标识
DOI：10.1134/s1063774523020219
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